Dvostrano raspršivanje i isparavanje elektronske zrake Kombinirani sustav vakuumskog kotrljanja - učinkovit i precizna tehnologija tankog prevlake

Ovaj vakuum je napredna oprema za premaz u visokim uvjetima vakuuma. Kombinira dvostranu tehnologiju ispršivanja i isparavanja elektrona, a može učinkovito i točno odlagati tanke filmove na površinama različitih supstrata. Naširoko se koristi u proizvodnji metalnih premaza kao što su bakar i aluminij. Kroz ovaj sustav može se postići visokokvalitetni premaz dvostranih bakrenih i aluminijskih premaza, što je posebno pogodno za velike proizvodne potrebe. Proizvodni kapacitet ovog sustava može doseći oko 710 000 četvornih metara mjesečno, što može učinkovito zadovoljiti potrebe proizvodnje velikih razmjera. Njegova učinkovita širina premaza je 1300 mm, a brzina linije do 15 metara u minuti. Može postići jednolično i visoko precizno taloženje tankog filma tijekom postupka oblaganja. Bilo da se radi o masovnoj proizvodnji ili proizvodima visokog preciznog, može pružiti stabilne i učinkovite performanse.

Proces premaza kombinira tehnologiju isparavanja i raspršivanja elektrona. U vakuumskom okruženju, visokoenergetski elektroni ili laseri bombardiraju ciljani materijal, tako da se njegovi površinski atomi ili ioni deponiraju na supstrat u obliku taloženja pare, tvoreći tanki film s izvrsnim performansama. Isparavanje elektronske zrake tehnologija je koja tvori tanki film na supstratu zagrijavanjem ciljanog materijala s elektronskim snopom i isparavanjem. U ovom se procesu elektronski snop ubrzava na vrlo visoku razinu energije, a zatim se usredotočuje na površinu ciljnog materijala. Ciljni materijal brzo se zagrijava do točke isparavanja, a atomi ili molekule na površini oslobađaju se u plinovitom obliku i deponiraju se na ohlađenom podlozi kako bi tvorili tanki film. Tehnologija raspršivanja tehnologija je koja bombardira ciljani materijal visokoenergetskim česticama, tako da se površinski atomi ili ioni oslobađaju u obliku atomskih klastera i deponiraju na supstrat. Obično se postupak raspršivanja provodi u atmosferi niskog tlaka, koristeći ione ili elektronske grede za bombardiranje ciljanog materijala, tako da se atomi na površini ciljnog materijala odvoje i tvore tanki film. U procesu prevlačenja tehnologija isparavanja elektronskih zraka može učinkovito odlagati metalni sloj, dok tehnologija raspršivanja može postići ujednačeno taloženje funkcionalnih tankih filmova. Kombinacija njih dvojice može značajno poboljšati učinkovitost proizvodnje, smanjiti materijalni otpad i smanjiti troškove.

Sastav filmskog sloja uključuje sloj adhezije (SP), bakar sloja elektrode (isparavanje) i zaštitni sloj (SP), koji osigurava visoku adheziju i stabilnu električnu vodljivost filma. Kako bi osigurao visoku izvedbu filma, oprema pruža preciznu kontrolu debljine filma, s preciznošću distribucije debljine filma ± 10%, što je neophodno za zahtjevnu primjenu. Precizna kontrola debljine filma osigurava uniformnost filma u različitim područjima, izbjegavajući razlike u vodljivosti ili drugim kvalitetnim problemima uzrokovanim neravnim filmskim slojevima. Pored toga, otpor filma može se kontrolirati na 25m Ω , što je mnogo niže od otpornosti mnogih tradicionalnih materijala, osiguravajući da premaz ima izuzetno visoku vodljivost. Precizno kontrolirajući otpor, može se osigurati da proizvod održava izvrsnu vodljivost tijekom dugoročne uporabe, izbjegavajući pad učinkovitosti opreme ili neuspjeh zbog pretjeranog otpora.

Oprema se može premazati na raznim supstratima, uključujući PET/PP filmove, s rasponom debljine od 3 μ m do 12 μ m. Bilo da se radi o fleksibilnoj elektronici, solarnim ćelijama, dodirnim zaslonima, senzorima i drugim poljima, ona može pružiti visokokvalitetne efekte premaza. Radni tlak zraka sustava održava se u rasponu niskog tlaka od 0,005 do 0,01Pa, osiguravajući preciznu obradu premaza u vakuumskom okruženju. Istodobno, opremljen je tehnologijom liječenja površine ionske bombardiranja kako bi se dodatno poboljšalo prianjanje između filmskog sloja i supstrata, osiguravajući trajnost i visoke performanse premaza.